等离子清洗机
 
 

 

  • 等离子清洗机
  • 设备名称:等离子清洗机

    详细介绍:

    等离子清洗机

    功能特性:

    ◇  控制系统可实现多种工作模式
    ◇  射频电源:产生13.56MHz的高频电源,激发等离子体
    ◇  射频电源功率0~600W可调
    ◇  真空泵抽气入口过滤器
    ◇  舱体托盘可订做 - 满足适合舱体的尺寸
    ◇  全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统

    适用范围:

    ◇  可以适用于半导体、微电子、COG前、LED制程、器件封装前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化及生命科学实验或生产电池用无纺布隔膜、水处理用中空纤维膜及各种天然纤维、合成纤维等离子处理可改善和提高其渗透性、亲水 性、印染性等等多种功能;

    技术参数:

    ◇  外形尺寸:W1000×H1600×D900(mm) 外形喷塑处理;
    ◇  反应仓尺寸:W450×H300×D450(mm);
    ◇  系统电源:380×(1±10%)V(AC) 50Hz—60Hz;
    ◇  反应仓温度:≤3KW;
    ◇  气体流量:(0--200)ml/min;
    ◇  工作真空度:(10~1000)Pa;
    ◇  工作气体(氧、氩、氢)接口压力:0.3Mpa~0.45 Mpa
    ◇  压缩空气(启动角阀用)接口压力:0.5 Mpa~0.6 Mpa
    ◇  氮气(启动角阀用)接口压力:0.5 Mpa
    ◇  接地电阻≤2Ω