设备名称:等离子清洗机
详细介绍:
等离子清洗机
功能特性:
◇ 控制系统可实现多种工作模式
◇ 射频电源:产生13.56MHz的高频电源,激发等离子体
◇ 射频电源功率0~600W可调
◇ 真空泵抽气入口过滤器
◇ 舱体托盘可订做 - 满足适合舱体的尺寸
◇ 全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统
适用范围:
◇ 可以适用于半导体、微电子、COG前、LED制程、器件封装前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化及生命科学实验或生产电池用无纺布隔膜、水处理用中空纤维膜及各种天然纤维、合成纤维等离子处理可改善和提高其渗透性、亲水 性、印染性等等多种功能;
技术参数:
◇ 外形尺寸:W1000×H1600×D900(mm) 外形喷塑处理;
◇ 反应仓尺寸:W450×H300×D450(mm);
◇ 系统电源:380×(1±10%)V(AC) 50Hz—60Hz;
◇ 反应仓温度:≤3KW;
◇ 气体流量:(0--200)ml/min;
◇ 工作真空度:(10~1000)Pa;
◇ 工作气体(氧、氩、氢)接口压力:0.3Mpa~0.45 Mpa
◇ 压缩空气(启动角阀用)接口压力:0.5 Mpa~0.6 Mpa
◇ 氮气(启动角阀用)接口压力:0.5 Mpa
◇ 接地电阻≤2Ω
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